Volframo silicidas
Volframo silicidas
Volframo silicidas WSi2 naudojamas kaip elektros smūgio medžiaga mikroelektronikoje, polisilicio laidų manevravimui, antioksidacinei dangai ir atsparumo vielos dangai.Mikroelektronikoje kaip kontaktinė medžiaga naudojamas volframo silicidas, kurio savitoji varža 60-80μΩcm.Susidaro 1000°C temperatūroje.Paprastai jis naudojamas kaip polisilicio linijų šuntas, siekiant padidinti jo laidumą ir padidinti signalo greitį.Volframo silicido sluoksnis gali būti paruoštas cheminiu garų nusodinimu, pavyzdžiui, nusodinant garais.Kaip žaliavas naudokite monosilaną arba dichlorsilaną ir volframo heksafluoridą.Nusodinta plėvelė nėra stechiometrinė ir ją reikia atkaitinti, kad ji būtų paversta laidžiesne stechiometrine forma.
Volframo silicidas gali pakeisti ankstesnę volframo plėvelę.Volframo silicidas taip pat naudojamas kaip barjerinis sluoksnis tarp silicio ir kitų metalų.
Volframo silicidas taip pat labai vertingas mikroelektromechaninėse sistemose, tarp kurių volframo silicidas daugiausia naudojamas kaip plona plėvelė mikroschemų gamybai.Šiuo tikslu volframo silicido plėvelė gali būti išgraviruota plazma, naudojant, pavyzdžiui, silicidą.
| ITEM | Cheminė sudėtis | |||||
| Elementas | W | C | P | Fe | S | Si |
| Turinys (masės %) | 76.22 | 0,01 | 0,001 | 0.12 | 0,004 | Balansas |
Rich Special Materials specializuojasi purškimo taikinio gamyboje ir gali gaminti volframo silicido purškimo medžiagas pagal klientų specifikacijas.Norėdami gauti daugiau informacijos, susisiekite su mumis.
