Dabar vis daugiau vartotojų supranta taikinių tipus irjos taikymo sritis, tačiau jos skirstymas gali būti nelabai aiškus.Dabar tegulRSM inžinierius Dalintis su tavimitam tikra indukcija magnetrono purslų taikinių.
Dulkinimo tikslas: metalo dulkinimo dangos taikinys, lydinio dulkinimo dangos taikinys, keraminis dulkinimo dangos taikinys, boridų keraminis dulkinimo tikslas, karbido keraminis dulkinimo taikinys taikinys, sulfido keramikos purškimo taikinys, telurido keramikos purškimo taikinys, kiti keraminiai taikiniai, chromu legiruotas silicio oksido keraminis taikinys (CR SiO), indžio fosfido taikinys (INP), švino arsenido taikinys (pbas), indžio arsenido taikinys (InAs).
Magnetroninis purškimas paprastai skirstomas į du tipus: nuolatinės srovės ir RF dulkinimą.Nuolatinės srovės purškimo įrangos principas yra paprastas, o jo greitis taip pat yra greitas purškiant metalą.RF purškimas yra plačiai naudojamas.Be laidžių duomenų išpurškimo, jis taip pat gali išpurkšti nelaidžius duomenis.Purškimo taikinys taip pat gali būti naudojamas reaktyviam purškimui, norint paruošti junginių duomenis, tokius kaip oksidai, nitridai ir karbidai.Jei RF dažnis padidės, jis taps mikrobangų plazmos purškimu.Šiuo metu dažniausiai naudojamas elektronų ciklotrono rezonanso (ECR) mikrobangų plazminis dulkinimas.
Paskelbimo laikas: 2022-05-26