Kokie yra purškimo taikinio vaidmenys vakuuminėje dangoje

Vakuuminis dengimas renkantis purškimo tikslines medžiagas šiuo metu yra problema žmonėms, nes purškimo danga, ypač magnetroninio purškimo dangos įgūdžių tobulinimas, gali būti pasakyta bet kokiai informacijai, kad būtų galima nukreipti į plonų plėvelių medžiagų paruošimą. jonų bombardavimu, nes purškiant tikslinę medžiagą dengimo procese ant pagrindo tipo, tai daro didelę įtaką purškiamos plėvelės kokybei, todėl tikslinės medžiagos reikalavimai yra griežtesni.Čia mes sužinosime apie purškiamo taikinio vaidmenį vakuuminėje dangoje kartu su Beijing Relaxation redaktoriumi

一、 Tikslinės medžiagos atrankos principas ir klasifikacija

Renkantis tikslinę medžiagą, be paties plėvelės naudojimo, reikėtų atsižvelgti ir į šias problemas:

1 uždavinys. Atsižvelgiant į membranos naudojimo ir veikimo reikalavimus, tikslinė medžiaga turi atitikti techninius grynumo, žurnalo turinio, komponentų vienodumo, apdirbimo tikslumo ir tt reikalavimus.

2 uždavinys. Suformavus plėvelę, tikslinė medžiaga turi turėti gerą mechaninį stiprumą ir cheminį stabilumą;

3 uždavinys. Būtina, kad plėvelės medžiaga lengvai susidarytų sudėtinė plėvelė, kai reakcijos dujos yra reaktyvioji dulkinimo plėvelė;

4 uždavinys. Būtina nustatyti, kad taikinys ir matrica būtų tvirti, priešingu atveju reikia naudoti plėvelės medžiagą, kuri gerai sukimba su matrica, pirmiausia išpurkšti apatinės plėvelės sluoksnį ir tada paruošti reikiamą plėvelės sluoksnį;

5 klausimas. Remiantis prielaida, kad plėvelė atitinka eksploatacinių savybių reikalavimus, kuo mažesnis skirtumas tarp taikinio ir matricos šiluminio plėtimosi koeficiento, tuo geriau, kad būtų sumažinta purškiančios plėvelės šiluminio įtempio įtaka;

Kelių dažniausiai naudojamų taikinių paruošimas

(1) kr taikinys

Chromas, kaip purškiančios plėvelės medžiaga, ne tik lengvai derinama su pagrindine medžiaga, pasižymi dideliu sukibimu, o chromo ir oksido CrQ3 plėvelė, jos mechaninės savybės, atsparumas rūgštims ir terminis stabilumas yra geresni.

Beijing Ruichi High-Tech Co., Ltd. daugiausia užsiima: titano taikiniu cirkonio taikiniu, aliuminio taikiniu, nikelio taikiniu, chromo taikiniu, volframo taikiniu, molibdeno taikiniu, vario taikiniu, silicio taikiniu, niobio taikiniu, tantalo taikiniu, titano ir silicio lydiniu taikinys, titano-niobio lydinio taikinys, titano-volframo lydinio taikinys, titano-cirkonio lydinio taikinys, nikelio-chromo lydinio taikinys, silicio-aliuminio lydinio taikinys, nikelio-vanadžio lydinio taikinys, chromo-aliuminio-silicio trijų dalių lydinio taikinys. trijų dalių lydinio tikslinė medžiaga, plačiai naudojama dekoravimui / kietam paviršiui ir funkcinei dangai, architektūriniam stiklui, plokščiam ekranui / optinei fotoelektrai, optinei saugyklai, elektronikai, spausdinimui ir kitose profesijose.