Tikslas turi plačią rinką, taikymo sritį ir didelę plėtrą ateityje.Siekdamas padėti jums geriau suprasti tikslines funkcijas, toliau RSM inžinierius trumpai pristatys pagrindinius taikinio funkcinius reikalavimus.
Grynumas: grynumas yra vienas iš pagrindinių taikinio funkcinių rodiklių, nes taikinio grynumas turi didelę įtaką plėvelės funkcijai.Tačiau praktiškai taikinio grynumo reikalavimai taip pat skiriasi.Pavyzdžiui, sparčiai vystantis mikroelektronikos pramonei, silicio plokštelės dydis padidinamas nuo 6 "iki 8" iki 12 ", o laidų plotis sumažėja nuo 0,5 um iki 0,25 um, 0,18 um ar net 0,13 um.Anksčiau 99,995% tikslinio grynumo gali atitikti proceso reikalavimus 0,35 um, o 0,18 um linijų paruošimui reikia 99,999% ar net 99,9999% tikslinio grynumo.
Priemaišų kiekis: priemaišos tikslinėse kietosiose medžiagose ir deguonis bei vandens garai porose yra pagrindiniai nusėdusių plėvelių taršos šaltiniai.Skirtingos paskirties taikiniams taikomi skirtingi reikalavimai skirtingiems priemaišų kiekiams.Pavyzdžiui, gryno aliuminio ir aliuminio lydinių taikiniams, naudojamiems puslaidininkių pramonėje, taikomi specialūs reikalavimai šarminių metalų kiekiui ir radioaktyviųjų elementų kiekiui.
Tankis: norint sumažinti tikslinės kietosios medžiagos poras ir pagerinti purškiančios plėvelės funkciją, taikinys paprastai turi būti didelio tankio.Taikinio tankis turi įtakos ne tik purškimo greičiui, bet ir elektrinėms bei optinėms plėvelės funkcijoms.Kuo didesnis tikslinis tankis, tuo geresnė plėvelės funkcija.Be to, pagerinamas taikinio tankis ir stiprumas, kad taikinys galėtų geriau priimti šiluminį įtempį purškimo procese.Tankis taip pat yra vienas iš pagrindinių taikinio funkcinių rodiklių.
Paskelbimo laikas: 2022-05-20