Šiuolaikiniai pastatai pradėjo naudoti didelius stiklo apšvietimo plotus.Šis aspektas suteikia mums šviesesnius kambarius ir platesnį horizontą.Kita vertus, per stiklą perduodama šiluma yra daug didesnė nei aplinkinių sienų, o viso pastato energijos sąnaudos žymiai padidėja.
Palyginti su daugiau nei 90 % mažos spinduliuotės stiklo panaudojimo išsivysčiusiose šalyse, mažo E stiklo skvarba Kinijoje yra tik apie 12 %, o Kinija vis dar turi daug erdvės plėtrai. paprastas stiklas ir internetinis žemo E lygio stiklas, neprisijungus naudojamo LowE stiklo gamybos sąnaudos yra didelės, o tai tam tikru laipsniu riboja naudojimą. Vidaus stiklo perdirbimo įmonės privalo nuolat mažinti dengimo gaminių gamybos sąnaudas, paspartinti įgyvendinimą, taupyti energiją, gerinti aplinką ir siekti socialinio tvaraus vystymosi.
1、Taikinio formos įtaka
Dideliuose dangos plotuose dažnai naudojama tikslinė medžiaga pagal formą, įskaitant plokštuminę ir sukimosi orientaciją.Bendrieji plokštieji taikiniai apima varinį taikinį, sidabrinį taikinį,Ni-Cr taikinys ir grafito taikinys.Bendrasis besisukantis taikinys turi cinko aliuminio taikinį, cinko alavo taikinį, silicio aliuminio taikinį, alavo taikinį, titano oksido taikinį, cinko oksido aliuminio taikinį ir pan. Taikinio forma turės įtakos magnetroninio purškimo dangos stabilumui ir plėvelės savybėms bei panaudojimui. tikslas yra labai didelis.Pakeitus tikslo formos planavimą, galima pagerinti dangos kokybę ir gamybos galią bei sutaupyti išlaidas.
2、Santykinio tankio ir taikinio klirenso įtaka
Santykinis tankis taikinyje yra praktinio tankio ir teorinio taikinio tankio santykis, vieno komponento taikinio teorinis tankis yra kristalų tankis, o lydinio ar mišinio taikinio teorinis tankis apskaičiuojamas pagal teorinį kiekvieno elemento tankis ir proporcija lydinyje arba mišinyje..Terminio purkštuvo taikinio išdėstymas yra porėtas, labai prisotintas deguonimi (net ir naudojant vakuuminį purškimą, lydinio taikinyje neišvengiama oksidų ir azoto junginių susidarymo), išvaizda pilka ir neturi metalinio blizgesio.Adsorbuotos priemaišos ir drėgmė yra pagrindiniai taršos šaltiniai.
3、Tikslinių dalelių dydžio ir kristalų krypties įtaka
Esant tokiam pačiam taikinio svoriui, mažo dydžio taikinys yra greitesnis už taikinį, kurio dalelės yra didelės.Taip yra visų pirma todėl, kad dalelių ribą purslų procese lengva įsibrauti, kuo daugiau dalelių ribos, tuo greičiau susidaro plėvelė.Dalelių dydis turi įtakos ne tik purškimo greičiui, bet ir plėvelės susidarymo kokybei. Pavyzdžiui, EowE gaminių gamybos procese NCr veikia kaip infraraudonuosius spindulius atspindinčio sluoksnio Ag palaikomasis sluoksnis, o jo kokybė turi didelę įtaką dengimo gaminiai.Dėl didelio NiCr plėvelės sluoksnio ekstinkcijos koeficiento jis paprastai yra plonas (apie 3 nm). Jei dalelių dydis yra per didelis, purškimo laikas sutrumpėja, plėvelės sluoksnio tankis blogėja, Ag sluoksnio palaikomasis poveikis. mažėja ir atsiranda oksidacinis dangos produktų dengimas.
išvada
Tikslinės medžiagos formos planavimas daugiausia turi įtakos tikslinės medžiagos panaudojimo greičiui.Protingas dydžio planavimas gali pagerinti tikslinės medžiagos panaudojimo greitį ir sutaupyti sąnaudų. Kuo mažesnis dalelių dydis, tuo didesnis dengimo greitis, tuo geresnis vienodumas.Kuo didesnis grynumas ir tankis, tuo mažesnis poringumas, tuo geresnė plėvelės kokybė ir mažesnė išmetimo šlako sumažėjimo tikimybė.
Paskelbimo laikas: 2022-04-27