1, Purškimo paruošimas
Labai svarbu, kad vakuuminė kamera, ypač purškimo sistema, būtų švari.Bet kokie likučiai, susidarę tepant alyvą, dulkes ir ankstesnę dangą, surinks vandens garus ir kitus teršalus, kurie tiesiogiai paveiks vakuumo laipsnį ir padidins plėvelės susidarymo gedimo tikimybę.Trumpasis jungimas arba taikinio lankas, šiurkštus plėvelės paviršius ir per didelis cheminių priemaišų kiekis dažnai atsiranda dėl nešvarios purškimo kameros, purškimo pistoleto ir taikinio.Norint laikytis dangos sudėties charakteristikų, būtina išvalyti ir išdžiovinti purškiamąsias dujas (argoną arba deguonį).Įdėjus substratą į purškimo kamerą, reikia ištraukti orą, kad būtų pasiektas procesui reikalingas vakuumas.Tamsioje vietoje esantis ekranavimo dangtis, ertmės sienelė ir gretimas paviršius taip pat turi būti švarūs.Valant vakuuminę kamerą rekomenduojame naudoti stiklo rutulinį srove, kad būtų apdorotos dulkėtos dalys, kartu su suslėgtu oru, kad būtų pašalintos ankstyvos purškimo likučiai aplink kamerą, o tada tyliai poliruoti išorinį paviršių aliuminio oksidu impregnuotu švitriniu popieriumi.Nupoliravus marlės popierių, jis nuvalomas spiritu, acetonu ir dejonizuotu vandeniu.Kartu jis pasisako už pramoninio dulkių siurblio naudojimą pagalbiniam valymui.Gaozhan metalo pagaminti taikiniai supakuoti į vakuuminius plastikinius maišelius,
Įmontuota drėgmei atspari priemonė.Naudodami taikinį nelieskite taikinio tiesiogiai ranka.Pastaba: naudodami taikinį, mūvėkite švarias ir nepūkuotas priežiūros pirštines.Niekada nelieskite taikinio tiesiai rankomis
2、 Tikslo valymas
Taikinio valymo tikslas yra pašalinti dulkes ar nešvarumus, kurie gali būti ant taikinio paviršiaus.
Metalinį taikinį galima valyti keturiais etapais,
Pirmiausia nuvalykite nepūkuotu minkštu skudurėliu, suvilgytu acetone;
Antras žingsnis panašus į pirmąjį – valymas alkoholiu;
3 veiksmas: nuvalykite dejonizuotu vandeniu.Nuplovę dejonizuotu vandeniu, įdėkite taikinį į orkaitę ir džiovinkite 100 ℃ temperatūroje 30 minučių.
Oksidiniai ir keraminiai taikiniai turi būti valomi „nepūkuotu skudurėliu“.
Ketvirtasis žingsnis – taikinį nuplauti argonu aukštu slėgiu ir mažu vandens dujomis, pašalinus dulkėtą plotą, kad būtų pašalintos visos nešvarumų dalelės, kurios gali susidaryti lanką purškimo sistemoje.
3、 Tikslinis įrenginys
Montuojant taikinį, Z svarbios atsargumo priemonės yra užtikrinti gerą šilumos laidumą tarp taikinio ir purškimo pistoleto aušinimo sienelės.Jei aušinimo stovo deformacija yra stiprus arba galinės plokštės deformacija yra rimta, taikinio įtaisas įtrūks arba sulinks, o šilumos laidumas nuo galinio taikinio iki taikinio bus labai paveiktas, todėl šiluma nebus išsklaidyta. purškimo procese ir taikinys įtrūks arba nepamatys
Siekiant užtikrinti šilumos laidumą, tarp katodo aušinimo sienelės ir taikinio gali būti paminkštintas grafito popieriaus sluoksnis.Atkreipkite dėmesį į tai, kad atidžiai patikrintumėte ir aiškiai parodytumėte naudojamo purškimo pistoleto aušinimo sienelės plokštumą, kad įsitikintumėte, jog sandarinimo žiedas visada yra savo vietoje.
Kadangi naudojamo aušinimo vandens švarumas ir dulkės, kurios gali atsirasti įrenginio veikimo metu, nusėda į katodo aušinimo vandens baką, montuojant taikinį būtina patikrinti ir išvalyti katodinio aušinimo vandens baką, kad būtų užtikrintas sklandus veikimas. aušinimo vandens cirkuliaciją ir kad nebūtų užsikimšę įleidimo ir išleidimo angos.
Kai kuriuose katoduose planuojama turėti nedidelę erdvę su anodu, todėl montuojant taikinį reikia užtikrinti, kad tarp katodo ir anodo nebūtų prisilietimo ar laidininko, kitaip įvyks trumpasis jungimas.
Informacijos, kaip tinkamai valdyti taikinį, rasite įrangos operatoriaus vadove.Jei vartotojo vadove tokios informacijos nėra, pabandykite įdiegti įrenginį pagal atitinkamus Gaozhan metal pateiktus pasiūlymus.Priverždami taikinį, pirmiausia priveržkite vieną varžtą ranka, o tada ranka priveržkite kitą įstrižainės varžtą.Kartokite tai, kol visi prietaiso varžtai bus priveržti, tada kažkuo priveržkite.
4、 Trumpojo jungimo ir sandarumo patikrinimas
Užbaigus tikslinį įrenginį, reikia patikrinti viso katodo trumpąjį jungimą ir sandarumą,
Ar katode nėra trumpojo jungimo, siūloma nustatyti naudojant varžos matuoklį
Eilučių diskriminacija.Patvirtinus, kad katode nėra trumpojo jungimo, galima atlikti nuotėkio aptikimą ir į katodą įleisti vandens, kad būtų patvirtinta, ar nėra vandens nuotėkio.
5、 Tikslinis išankstinis purškimas
Taikinio išankstinis purškimas palaiko gryną argono purškimą, kuris gali išvalyti taikinio paviršių.Kai taikinys yra iš anksto purškiamas, rekomenduojama lėtai didinti purškimo galią, o keraminio taikinio galios didinimo greitis yra 1,5 WH / cm2.Metalinio taikinio išankstinis purškimo greitis gali būti didesnis nei keraminio taikinio bloko, o pagrįstas galios padidėjimo greitis yra 1,5 WH / cm2.
Išankstinio purškimo metu turime patikrinti taikinio lanką.Išankstinis purškimo laikas paprastai yra apie 10 minučių.Jei nėra lanko reiškinio, nuolat didinkite purškimo galią
Iki nustatytos galios.Remiantis patirtimi, priimtina Z didelė metalinio taikinio purškimo galia
25 vatai / cm2, 10 vatų / cm2 keraminiam taikiniui.Naudotojo sistemos naudojimo vadove rasite vakuuminio kameros slėgio nustatymo pagrindą ir patirtį purškimo metu.Paprastai reikia užtikrinti, kad vandens temperatūra aušinimo vandens išleidimo angoje būtų žemesnė nei 35 ℃, tačiau Z svarbu užtikrinti, kad aušinimo vandens cirkuliacinė sistema veiktų efektyviai.
Greita peršalimo vandens cirkuliacija atima šilumą, o tai yra svarbi garantija, užtikrinanti nuolatinį didelio galingumo purškimą.Kalbant apie metalinius taikinius, paprastai rekomenduojama, kad aušinimo vandens srautas būtų
20 lpm vandens slėgis yra apie 5gmp;Keraminiams taikiniams paprastai rekomenduojama, kad vandens srautas būtų 30 l/min, o vandens slėgis – apie 9 gmp.
6、 Tikslinė priežiūra
Siekiant išvengti trumpojo jungimo ir lanko atsiradimo dėl nešvarios ertmės purškimo procese, būtina etapais pašalinti purškimo takelio centre ir abiejose pusėse susikaupusius dulkes,
Tai taip pat padeda vartotojams nuolat purkšti esant z dideliam galios tankiui
7、 Tikslinė saugykla
„Gaozhan metal“ pateikti taikiniai supakuoti į dvisluoksnius vakuuminius plastikinius maišelius.Mes rekomenduojame, kad vartotojai laikytų taikinius, nesvarbu, ar jie būtų metaliniai, ar keramikiniai, vakuuminėse pakuotėse.Visų pirma, surišimo taikiniai turi būti laikomi vakuumo sąlygomis, kad rišančiojo sluoksnio oksidacija nepakenktų sukibimo kokybei.Kalbant apie metalinių taikinių pakuotę, mes pasisakome už tai, kad Z būtų supakuotas į švarius plastikinius maišelius
Paskelbimo laikas: 2022-05-13