Didelio grynumo volframo taikinio technologija ir taikymas

Ugniai atsparių volframo metalų ir volframo lydinių pranašumai yra aukštos temperatūros stabilumas, didelis atsparumas elektronų migracijai ir didelis elektronų emisijos koeficientas.Didelio grynumo volframo ir volframo lydinio taikiniai daugiausia naudojami vartų elektrodams, sujungimo laidams, puslaidininkinių integrinių grandynų difuzijos barjeriniams sluoksniams gaminti.Jiems keliami labai aukšti grynumo, priemaišų elementų kiekio, tankio, grūdelių dydžio ir vienodos medžiagų grūdėtumo struktūros reikalavimai.Pažvelkime į veiksnius, turinčius įtakos didelio grynumo volframo taikinio paruošimuiby Rich Special Material Co., Ltd.

I. Sukepinimo temperatūros poveikis

Volframo taikinio embriono formavimo procesas paprastai atliekamas naudojant šaltą izostatinį slėgį.Sukepinimo metu volframo grūdeliai išaugs.Volframo grūdelių augimas užpildys tarpą tarp kristalų ribų, taip padidindamas volframo taikinio tankį.Didėjant sukepinimo laikui, volframo taikinio tankio didėjimas palaipsniui lėtėja.Pagrindinė priežastis yra ta, kad volframo tikslinės medžiagos kokybė beveik nepasikeitė po kelių sukepinimo procesų.Kadangi daugumą tuštumų kristalų ribose užpildo volframo kristalai, bendras volframo taikinio dydžio kitimo greitis po kiekvieno sukepinimo proceso yra labai mažas, todėl volframo taikinio tankiui padidėti yra ribota erdvė.Vykstant sukepimui, dideli volframo grūdeliai užpildomi tuštumose, todėl gaunamas tankesnis ir mažesnio dydžio taikinys.

2. Poveikishvalgyti konservavimo laikas

Esant tokiai pačiai sukepinimo temperatūrai, ilginant sukepinimo laiką pagerėja tikslinės volframo medžiagos kompaktiškumas.Didėjant sukepinimo laikui, volframo grūdelių dydis didėja, o ilgėjant sukepinimo laikui, grūdelių dydžio augimo faktorius palaipsniui lėtėja.Tai rodo, kad padidinus sukepinimo laiką taip pat galima pagerinti volframo taikinio veikimą.

3. Riedėjimo poveikis taikiniui Pnašumą

Siekiant pagerinti volframo tikslinių medžiagų tankį ir gauti volframo tikslinių medžiagų apdorojimo struktūrą, volframo tikslinės medžiagos turi būti valcuojamos vidutinėje temperatūroje, žemesnėje už rekristalizacijos temperatūrą.Kai tikslinio ruošinio valcavimo temperatūra yra aukšta, taikinio ruošinio pluošto struktūra yra storesnė, o taikinio ruošinio – smulkesnė.Kai karšto valcavimo išeiga viršija 95%.Nors pluošto struktūros skirtumas, atsirandantis dėl skirtingų sukepinimo pradinių grūdelių ar valcavimo temperatūros, bus pašalintas, taikinio viduje susidarys homogeniškesnė pluošto struktūra, todėl kuo didesnis šilto valcavimo apdorojimo greitis, tuo geresnis taikinio našumas.