Dėl plataus tikslinės medžiagos panaudojimo įvairiose profesijose tikslinės medžiagos paklausa tampa vis didesnė.Sekantis Mes trumpai pristatyti tu kokie yra pagrindiniai taikinio funkciniai reikalavimai, hoping padėti tau.
Grynumas: grynumas yra vienas iš pagrindinių taikinio funkcinių rodiklių, nes taikinio grynumas turi didelę įtaką plėvelės funkcijai.Tačiau praktiškai tikslinės medžiagos grynumas nėra tas pats.Pavyzdžiui, sparčiai augant mikroelektronikos profesijai, silicio plokštelės dydis išaugo nuo 6 ", 8 "iki 12 ", o laidų plotis sumažėjo nuo 0,5 um iki 0,25 um, 0,18 um ir net 0,13 um.Kartą 99,995 % tikslinio grynumo gali atitikti technologinius 0,35 UMIC reikalavimus.0,18 um linijos paruošimui reikalingas 99,999% ar net 99,9999% tikslinės medžiagos grynumas.
Tankis: norint sumažinti tikslinės kietosios medžiagos poringumą ir pagerinti purškiančios plėvelės funkciją, paprastai reikalaujama, kad taikinys būtų didelio tankio.Tikslinis tankis turi įtakos ne tik purškimo greičiui, bet ir elektrinėms bei optinėms plėvelių savybėms.Kuo didesnis tikslinis tankis, tuo geresnė plėvelės funkcija. Be to, buvo padidintas tikslinės medžiagos tankis ir stiprumas, kad ji geriau atlaikytų šiluminį įtempį purškimo metu.Tankis taip pat yra vienas iš svarbių tikslinių medžiagų funkcinių rodiklių.
Priemaišų kiekis: priemaišos tikslinėje kietojoje medžiagoje ir deguonies bei vandens garai porose yra pagrindiniai susikaupusių plėvelių taršos šaltiniai. Skirtingoms tikslinėms medžiagoms skirtingiems tikslams keliami skirtingi reikalavimai skirtingiems priemaišų kiekiams.Pavyzdžiui, gryno aliuminio ir aliuminio lydinių taikiniams, naudojamiems puslaidininkių pramonėje, taikomi specialūs reikalavimai šarminių metalų kiekiui ir radioaktyviųjų elementų kiekiui.
Paskelbimo laikas: 2022-06-06