Purškiamoms tikslinėms medžiagoms taikomi aukšti reikalavimai ne tik grynumui ir dalelių dydžiui, bet ir vienodam dalelių dydžiui.Šie aukšti reikalavimai verčia mus skirti daugiau dėmesio naudojant purškiamas tikslines medžiagas.
1. Purškimo paruošimas
Labai svarbu palaikyti vakuuminės kameros, ypač purškimo sistemos, švarą.Tepalai, dulkės ir bet kokie ankstesnių dangų likučiai gali kaupti teršalus, tokius kaip vanduo, tiesiogiai paveikti vakuumą ir padidinti plėvelės susidarymo gedimo tikimybę.Trumpasis jungimas, taikinio lankas, šiurkštūs plėvelę formuojantys paviršiai ir pernelyg didelės cheminės priemaišos dažniausiai atsiranda dėl nešvarių purškimo kamerų, pistoletų ir taikinių.
Siekiant išlaikyti dangos sudėtines savybes, purškiančios dujos (argonas arba deguonis) turi būti švarios ir sausos.Sumontavus pagrindą purškimo kameroje, reikia ištraukti orą, kad būtų pasiektas procesui reikalingas vakuumo lygis.
2. Taikinio valymas
Taikinio valymo tikslas yra pašalinti visas dulkes ar nešvarumus, kurie gali būti ant taikinio paviršiaus.
3. Tikslinis įrengimas
Svarbiausias dalykas, į kurį reikia atkreipti dėmesį montuojant tikslinę medžiagą, yra užtikrinti gerą šiluminį ryšį tarp tikslinės medžiagos ir purškimo pistoleto aušinimo sienelės.Jei aušinimo sienelė arba galinė plokštė yra labai iškrypusi, montuojant tikslinę medžiagą ji gali įtrūkti arba sulenkti.Šilumos perdavimas iš galinio taikinio į tikslinę medžiagą bus labai paveiktas, todėl purškimo metu šiluma negalės išsklaidyti, o tai galiausiai sukels tikslinės medžiagos įtrūkimus arba nukrypimus.
4. Trumpojo jungimo ir sandarinimo patikrinimas
Sumontavus tikslinę medžiagą, būtina patikrinti trumpąjį jungimą ir viso katodo sandarumą.Norint nustatyti, ar katode nėra trumpojo jungimo, rekomenduojama naudoti omometrą ir megohmetrą.Patvirtinus, kad katodas nėra trumpasis jungimas, galima aptikti nuotėkį įpurškiant vandens į katodą, siekiant nustatyti, ar nėra nuotėkio.
5. Tikslinės medžiagos prieš purškimą
Išankstiniam tikslinės medžiagos purškimui rekomenduojama naudoti grynas argono dujas, kurios gali nuvalyti tikslinės medžiagos paviršių.Prieš tikslinės medžiagos purškimo procesą rekomenduojama lėtai didinti purškimo galią.Keraminės tikslinės medžiagos galia
Paskelbimo laikas: 2023-10-19