Vakuuminis dengimas reiškia garavimo šaltinio kaitinimą ir išgarinimą vakuume arba purškimą pagreitintu jonų bombardavimu ir jo nusodinimą ant pagrindo paviršiaus, kad susidarytų vienasluoksnė arba daugiasluoksnė plėvelė.Koks yra vakuuminio dengimo principas?Toliau su juo mus supažindins RSM redaktorius.
1. Vakuuminė garinimo danga
Garinanti danga reikalauja, kad atstumas tarp garų molekulių arba atomų nuo garavimo šaltinio ir dengiamo pagrindo būtų mažesnis nei vidutinis laisvas likusių dujų molekulių kelias dengimo patalpoje, kad būtų užtikrinta, jog garų molekulės garavimas gali pasiekti pagrindo paviršių be susidūrimo.Įsitikinkite, kad plėvelė yra gryna ir tvirta, o išgaruojantis sluoksnis nesioksiduoja.
2. Vakuuminis purškimo sluoksnis
Vakuume, kai pagreitinti jonai susiduria su kietąja medžiaga, viena vertus, pažeidžiamas kristalas, kita vertus, jie susiduria su atomais, kurie sudaro kristalą, ir galiausiai su atomais arba molekulėmis kietosios medžiagos paviršiuje. purslų į išorę.Purškiama medžiaga padengiama ant pagrindo, kad susidarytų plona plėvelė, kuri vadinama vakuuminiu purškimu.Yra daug purškimo būdų, tarp kurių diodinis purškimas yra ankstyviausias.Pagal skirtingus katodo taikinius jis gali būti suskirstytas į nuolatinę srovę (DC) ir aukšto dažnio (RF).Atomų, išpuršktų jonu paveikiant tikslinį paviršių, skaičius vadinamas purškimo greičiu.Esant dideliam purškimo greičiui, plėvelės susidarymo greitis yra greitas.Purškimo greitis yra susijęs su jonų energija ir tipu bei tikslinės medžiagos tipu.Paprastai tariant, purškimo greitis didėja didėjant žmogaus jonų energijai, o tauriųjų metalų purškimo greitis yra didesnis.
Paskelbimo laikas: 2022-07-14