Turime būti gerai susipažinę su taikiniu dabar, dabar tikslinė rinka taip pat didėja, štai koks yra pagrindinis purškimo taikinio našumas, kurį dalijasi redaktorius iš RSM
Grynumas
Tikslinės medžiagos grynumas yra vienas iš pagrindinių eksploatacinių savybių rodiklių, nes tikslinės medžiagos grynumas turi didelę įtaką plonos plėvelės veikimui.Tačiau praktikoje tikslinių medžiagų grynumo reikalavimai nėra vienodi.Pavyzdžiui, sparčiai vystantis mikroelektronikos pramonei, silicio lusto dydis buvo padidintas nuo 6 colių, 8 colių iki 12 colių, o laidų plotis sumažėjo nuo 0,5 um iki 0,25 um, 0,18 um ar net 0,13 um.Anksčiau 99,995% tikslinės medžiagos grynumas gali atitikti 0,35 umIC proceso reikalavimus.Tikslinės medžiagos grynumas yra 99,999 % arba net 99,9999 % ruošiant 0,18 um eilutes.
Priemaišų kiekis
Priemaišos tikslinėje kietojoje medžiagoje ir deguonis bei vandens garai porose yra pagrindiniai plėvelės nusėdimo taršos šaltiniai.Skirtingų paskirčių tikslinėms medžiagoms taikomi skirtingi reikalavimai skirtingiems priemaišų kiekiui.Pavyzdžiui, gryno aliuminio ir aliuminio lydinių taikiniams, naudojamiems puslaidininkių pramonėje, taikomi specialūs reikalavimai šarminių metalų ir radioaktyviųjų elementų kiekiui.
Tankis
Norint sumažinti tikslinės kietosios medžiagos poringumą ir pagerinti purškimo plėvelės veikimą, paprastai reikalingas didelis taikinio tankis.Taikinio tankis turi įtakos ne tik purškimo greičiui, bet ir elektrinėms bei optinėms plėvelės savybėms.Kuo didesnis tikslinis tankis, tuo geresnis filmo veikimas.Be to, padidinus taikinio tankį ir stiprumą, taikinys geriau atlaiko šiluminį įtempį purškimo procese.Tankis taip pat yra vienas iš pagrindinių tikslo rodiklių.
Grūdų dydis ir grūdų dydžio pasiskirstymas
Taikinys paprastai yra polikristalinis, kurio grūdelių dydis svyruoja nuo mikrometro iki milimetro.Tam pačiam taikiniui mažų grūdelių taikinio purškimo greitis yra greitesnis nei taikinio su dideliais grūdeliais.Plėvelių, nusodintų purškiant taikiniu, su mažesniu grūdelių dydžio skirtumu (vienodas pasiskirstymas) storis yra tolygesnis.
Paskelbimo laikas: 2022-04-04