Tikslas turi daug efektų, o rinkos plėtros erdvė yra didelė.Tai labai naudinga daugelyje sričių.Beveik visa nauja purškimo įranga naudoja galingus magnetus elektronams spirališkai sukti, kad paspartintų argono jonizaciją aplink taikinį, todėl padidėja susidūrimo tarp taikinio ir argono jonų tikimybė.Dabar pažvelkime į purškiamo taikinio vaidmenį vakuuminėje dangoje.
Pagerinkite purškimo greitį.Paprastai nuolatinės srovės purškimas naudojamas metalui padengti, o RF kintamosios srovės purškimas naudojamas nelaidžioms keraminėms magnetinėms medžiagoms.Pagrindinis principas yra naudoti švytėjimo išlydį, kad vakuume pataikytumėte į argono (AR) jonus ant taikinio paviršiaus, o plazmoje esantys katijonai paspartės, kad nutekėtų į neigiamą elektrodo paviršių kaip aptaškyta medžiaga.Dėl šio smūgio taikinio medžiaga išskris ir nusėda ant pagrindo, kad susidarytų plėvelė.
Paprastai kalbant, yra kelios plėvelės dengimo purškimo būdu charakteristikos: (1) iš metalo, lydinio ar izoliatoriaus galima pagaminti plėvelės duomenis.
(2) Esant tinkamoms nustatymo sąlygoms, tokios pačios sudėties plėvelė gali būti pagaminta iš kelių netvarkingų taikinių.
(3) Tikslinės medžiagos ir dujų molekulių mišinys arba junginys gali būti gaminamas į išmetimo atmosferą pridedant deguonies ar kitų aktyvių dujų.
(4) Galima valdyti tikslinę įvesties srovę ir purškimo laiką, todėl lengva gauti didelio tikslumo plėvelės storį.
(5) Palyginti su kitais procesais, jis yra palankus didelio ploto vienodų plėvelių gamybai.
(6) Purškiamų dalelių gravitacija beveik neveikia, o taikinio ir substrato padėtis gali būti laisvai išdėstyta.
Paskelbimo laikas: 2022-05-17