Šiuo metu beveik visi IC pramonei reikalingi aukščiausios klasės itin gryno metalo vario taikiniai yra monopolizuoti kelių didelių užsienio tarptautinių kompanijų.Reikia importuoti visus itin gryno vario taikinius, reikalingus vietinei IC pramonei, o tai ne tik brangu, bet ir sudėtinga importo procedūrose. .Pažvelkime į pagrindinius taškus ir sunkumus kuriant itin didelio grynumo (6N) vario purškimo taikinius.
1、Itin didelio grynumo medžiagų kūrimas
Didelio grynumo Cu, Al ir Ta metalų valymo technologija Kinijoje yra toli nuo pramonės išsivysčiusių šalių.Šiuo metu dauguma didelio grynumo metalų, kuriuos galima tiekti, negali atitikti integrinių grandynų, taikomų purškiamiesiems objektams, kokybės reikalavimų pagal pramonėje įprastus visų elementų analizės metodus.Įtraukimų skaičius taikinyje yra per didelis arba pasiskirstęs netolygiai.Purškimo metu ant plokštelės dažnai susidaro dalelės, dėl kurių susidaro trumpasis jungimas arba atvira sujungimo grandinė, o tai labai paveikia plėvelės veikimą.
2、Vario purškimo taikinių paruošimo technologijos sukūrimas
Kuriant vario purškimo taikinio paruošimo technologiją daugiausia dėmesio skiriama trims aspektams: grūdelių dydžiui, orientacijos kontrolei ir vienodumui.Puslaidininkių pramonėje keliami aukščiausi reikalavimai purškiantiems taikiniams ir išgarinant žaliavas.Tai labai griežti reikalavimai paviršiaus grūdelių dydžio ir taikinio kristalų orientacijos kontrolei.Taikinio grūdelių dydis turi būti kontroliuojamas ties 100μ M žemiau, todėl grūdelių dydžio kontrolė ir koreliacinės analizės bei aptikimo priemonės yra labai svarbios kuriant metalinius taikinius.
3、Analizės kūrimas irtestavimas technologija
Didelis taikinio grynumas reiškia priemaišų mažinimą.Anksčiau priemaišoms nustatyti buvo naudojama induktyviai susietos plazmos (ICP) ir atominės sugerties spektrometrija, tačiau pastaraisiais metais kaip standartas palaipsniui pradėta taikyti didesnio jautrumo švytėjimo išlydžio kokybės analizė (GDMS). metodas.Liekamosios varžos santykio RRR metodas daugiausia naudojamas elektriniam grynumui nustatyti.Jo nustatymo principas yra įvertinti netauriųjų metalų grynumą, matuojant priemaišų elektroninės dispersijos laipsnį.Kadangi tai yra atsparumo matavimas kambario temperatūroje ir labai žemoje temperatūroje, skaičių paimti paprasta.Pastaraisiais metais, siekiant ištirti metalų esmę, itin aktyviai atliekami itin didelio grynumo tyrimai.Šiuo atveju RRR vertė yra geriausias būdas grynumui įvertinti.
Paskelbimo laikas: 2022-06-06