Pastaraisiais metais, tobulėjant integrinių grandynų (IC) technologijai, sparčiai vystomos susijusios integrinių grandynų programos.Itin didelio grynumo aliuminio lydinio purškimo taikinys, kaip pagalbinė medžiaga integrinių grandynų metalinių jungčių gamyboje, tapo aktualia naujausių vidaus tyrimų tema.RSM redaktorius parodys mums didelio grynumo aliuminio lydinio purškimo taikinio savybes.
Siekiant toliau pagerinti magnetroninio purškimo taikinio purškimo efektyvumą ir užtikrinti nusodintų plėvelių kokybę, daugybė eksperimentų rodo, kad yra tam tikri reikalavimai itin didelio grynumo aliuminio lydinio purškimo taikinio sudėčiai, mikrostruktūrai ir grūdelių orientacijai.
Taikinio grūdelių dydis ir grūdelių orientacija turi didelę įtaką IC plėvelių paruošimui ir savybėms.Rezultatai rodo, kad nusėdimo greitis mažėja didėjant grūdelių dydžiui;Tokios pat sudėties purškiamo taikinio purškimo greitis mažo grūdelio dydžio taikinyje yra greitesnis nei didelio grūdėtumo taikinio;Kuo vienodesnis taikinio grūdelių dydis, tuo vienodesnis nusodintų plėvelių storio pasiskirstymas.
Taikant tuos pačius purškimo prietaisus ir proceso parametrus, Al Cu lydinio taikinio purškimo greitis didėja didėjant atominiam tankiui, tačiau jis paprastai yra stabilus.Grūdelių dydžio įtaka purškimo greičiui atsiranda dėl atomo tankio pasikeitimo keičiantis grūdelių dydžiui;Nusėdimo greičiui daugiausia įtakos turi Al Cu lydinio taikinio grūdelių orientacija.Remiantis (200) kristalų plokštumų proporcijos užtikrinimu, padidėjus (111), (220) ir (311) kristalų plokštumų proporcijai, padidės nusodinimo greitis.
Itin didelio grynumo aliuminio lydinio taikinių grūdelių dydis ir grūdelių orientacija daugiausia reguliuojama ir kontroliuojama luitų homogenizavimu, karšto apdirbimo ir perkristalizavimo atkaitinimu.Padidėjus plokštelių dydžiui iki 20,32 cm (8 colių) ir 30,48 cm (12 colių), tikslinis dydis taip pat didėja, o tai kelia aukštesnius reikalavimus itin didelio grynumo aliuminio lydinio purškimo taikiniams.Siekiant užtikrinti plėvelės kokybę ir derlių, tiksliniai apdorojimo parametrai turi būti griežtai kontroliuojami, kad tikslinė mikrostruktūra būtų vienoda, o grūdelių orientacija turi turėti stiprią (200) ir (220) plokštumą.
Paskelbimo laikas: 2022-06-30