Kaip visi žinome, yra daugybė purškiančių taikinių specifikacijų, o jų taikymo sritys taip pat labai plačios.Skirtingose srityse dažniausiai naudojami taikinių tipai taip pat skiriasi.Šiandien su RSM redaktoriumi sužinokime apie purškimo taikinio taikymo laukų klasifikaciją!
1、 Purškiamo taikinio apibrėžimas
Purškimas yra viena iš pagrindinių plonasluoksnių medžiagų paruošimo technologijų.Jis naudoja jonų šaltinio pagamintus jonus, kad pagreitintų ir susikauptų vakuume, kad susidarytų didelės spartos jonų pluoštas, bombarduotų kietą paviršių, o jonai keičiasi kinetine energija su kieto paviršiaus atomais, kad atomai kietajame kūne. paviršius atskiriamas nuo kieto ir nusodinamas ant pagrindo paviršiaus.Bombarduota kieta medžiaga yra žaliava, skirta paruošti ploną plėvelę, nusodintą dulkinant, kuri vadinama purškimo taikiniu.
2、 Purškimo taikinio taikymo laukų klasifikacija
1. Puslaidininkinis taikinys
(1) Bendri tikslai: bendri tikslai šioje srityje yra metalai, kurių lydymosi temperatūra yra aukšta, pavyzdžiui, tantalas / varis / titanas / aliuminis / auksas / nikelis.
(2) Naudojimas: daugiausia naudojamas kaip pagrindinės žaliavos integriniams grandynams.
(3) Veikimo reikalavimai: aukšti techniniai grynumo, dydžio, integravimo ir kt. reikalavimai.
2. Plokščiojo ekrano taikinys
(1) Bendrieji taikiniai: bendri taikiniai šioje srityje yra aliuminis / varis / molibdenas / nikelis / niobis / silicis / chromas ir kt.
(2) Naudojimas: tokio tipo taikinys dažniausiai naudojamas įvairių tipų didelės apimties filmams, pvz., televizoriams ir nešiojamiesiems kompiuteriams.
(3) Veikimo reikalavimai: aukšti grynumo, didelio ploto, vienodumo ir kt.
3. Tikslinė medžiaga saulės elementui
(1) Įprasti taikiniai: aliuminis / varis / molibdenas / chromas / ITO / Ta ir kiti saulės elementų taikiniai.
(2) Naudojimas: daugiausia naudojamas „lango sluoksniui“, barjeriniam sluoksniui, elektrodui ir laidžiai plėvelei.
(3) Veikimo reikalavimai: aukšti techniniai reikalavimai ir platus pritaikymo spektras.
4. Tikslas informacijos saugojimui
(1) Bendrieji tikslai: bendri kobalto / nikelio / ferolydinio / chromo / telūro / seleno ir kitų informacijos saugojimo medžiagų taikiniai.
(2) Naudojimas: šios rūšies tikslinė medžiaga daugiausia naudojama optinio įrenginio ir optinio disko magnetinei galvutei, viduriniam sluoksniui ir apatiniam sluoksniui.
(3) Veikimo reikalavimai: reikalingas didelis saugojimo tankis ir didelis perdavimo greitis.
5. Įrankio modifikavimo taikinys
(1) Bendrieji taikiniai: įprasti taikiniai, pvz., titano / cirkonio / chromo aliuminio lydinys, modifikuotas įrankiais.
(2) Naudojimas: paprastai naudojamas paviršiaus stiprinimui.
(3) Eksploatacinių savybių reikalavimai: aukšti našumo reikalavimai ir ilgas tarnavimo laikas.
6. Elektroninių prietaisų taikiniai
(1) Bendrieji taikiniai: įprasti elektroninių prietaisų aliuminio lydinio / silicido taikiniai
(2) Paskirtis: paprastai naudojamas plonasluoksniams rezistoriams ir kondensatoriams.
(3) Veikimo reikalavimai: mažas dydis, stabilumas, žemas atsparumo temperatūros koeficientas
Paskelbimo laikas: 2022-07-27